产品特点及优势
- 全幅面远心设计：在全幅面范围内，聚焦光束最大远心角小于4°。
- 聚焦光斑质量：通过像差校正，实现在全幅面范围聚焦光斑圆度大于80%，聚焦光斑尺寸一致性小于10%。
- 专用膜系设计：针对激光加工应用需求，改进膜系设计，激光损伤阈值大于10J/cm²，透过率大于90%。
- 定制化服务：支持针对特种需求，开发定制化场镜。
产品指标
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石英系列 |
焦距（mm） |
幅面（mm×mm） |
远心角（º） |
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TFS-355-75-10 |
75 |
≤26×26 |
2 |
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TFS-355-100-10 |
100 |
≤44×44 |
2 |
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TFS-355-160-14 |
167 |
≤64×64 |
2 |
|
TFS-532-75-10 |
75 |
≤26×26 |
2 |
|
TFS-532-100-14 |
100 |
≤42×42 |
2 |
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TFS-532-167-14 |
167 |
≤84×84 |
4 |
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TFS-1064-75-10 |
75 |
≤26×26 |
2 |
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TFS-1064-100-14 |
100 |
≤44×44 |
3 |
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TFS-1064-167-14 |
167 |
≤84×84 |
4 |
加工效果
远心F-Theta扫描透镜
远心F-Theta扫描透镜专为激光精密加工设计，采用远心光学架构与熔石英材料，确保在宽幅扫描范围内，出射激光始终与加工平面保持垂直，实现更圆、更均匀的高质量聚焦光斑。专为340-360nm、515-540nm、1030-1080nm等波段优化，具备小远心角、低光学畸变及优异的长期热稳定性等特点，成为实现微米级加工精度、提升工艺一致性的关键光学部件，广泛应用于精密微纳加工、半导体、科研等高端领域。
