产品详情
产品特点及优势
光学设计
- 一体式的三轴联动激光扫描加工,具有高集成度与高灵活性。
- 全反射式光学设计,突破传统Z轴透射式机械传动造成的速度瓶颈。
- 超高速Z轴动态响应,支持异形曲面的高效激光加工。
伺服驱动
- 基于多核心处理器的并行驱动硬件架构,实现ns级多轴时序的同步。
- 全数字驱动方案,降低温漂造成的精度损失,确保长期稳定运行
机械结构
- 主体框架采用一体成型CNC工艺,结构强度与精度均得到有效保证。
- 内部折叠光路优化,实现紧凑尺寸设计,满足空间敏感型用户需求。
产品指标
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参数 |
XCS-3D-R |
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激光波长(nm) |
515 ~ 532 / 1030 ~ 1064 |
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入光孔径(mm) |
14 |
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XY扫描角度(光学)(°) |
≤ ±25 |
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XY扫描速度(m/s) |
≤ 5(f =160 mm) |
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激光Z轴运动范围(mm) |
≤ ± 15(f =160 mm) |
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激光Z轴扫描速度(m/s) |
≤ ≥ 30(f =160 mm) |
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跟踪误差(ms) |
≤ 0.15 |
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重复定位精度(μrad) |
≤2 |
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非线性度(%) |
<0.5 |
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>8小时长期漂移(μm) |
< 15(f =160 mm) |
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供电要求 |
(30VDC,≥ 5A)× 2组 |
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通讯协议 |
XY3-100 |
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产品尺寸(mm) |
270 × 210 × 220 |
加工效果

超高速三轴振镜
超高速三轴振镜是一种全光学三轴(x、y、z)扫描加工解决方案,基于创新的一体式全反射振镜形态与内部光路折叠优化设计,突破传统动态聚焦方案光学Z轴速度限制,实现紧凑体积下大幅面、超高速的三维空间激光扫描加工,可应用于3C电子、微结构加工、激光曲面清洗等精密加工领域。
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